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　　芯片超純水設(shè)備通常由多介質(zhì)過濾器、活性炭過濾器、精密過濾器等組成，預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、EDI系統(tǒng)、混床等構(gòu)成主要工藝。水箱設(shè)有液位控制系統(tǒng)，水泵設(shè)有高低壓保護裝置，水質(zhì)在線檢測控制儀表，電氣采用模塊化組合PLC，通信遠傳至中控室上位機，實現(xiàn)現(xiàn)場就地控制和集中控制兩種運行方式。與其他同類產(chǎn)品相比，該設(shè)備具有更高的性價比和設(shè)備可靠性。

　　芯片超純水設(shè)備能夠連續(xù)穩(wěn)定地制備高質(zhì)量的超純水，不會因樹脂再生而停止運行。設(shè)備的結(jié)構(gòu)設(shè)計比較緊湊，占地面積小，可以為企業(yè)節(jié)省大量空間。超純水設(shè)備出廠都經(jīng)過調(diào)試，運行故障概率小，日常維護、維修等操作非常簡單。芯片超純水設(shè)備還配備了反滲透預(yù)脫鹽技術(shù)，保證反滲透系統(tǒng)進水達標(biāo)，避免膜元件的損壞，從根本上保證設(shè)備的出水質(zhì)量。同時，芯片超純水設(shè)備廢水產(chǎn)量少，不會污染環(huán)境，具有很高的環(huán)境效益和經(jīng)濟效益和廣闊的發(fā)展前景。為國內(nèi)芯片自主研發(fā)產(chǎn)業(yè)提供堅實的“可控"基礎(chǔ)。