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電子晶圓超純水
超純水設(shè)備一般采用反滲透作預(yù)處理再配上去離子(EDI)裝置,利用反滲透原理,有效去除水中各種鹽份、離子、顆粒,細菌等,有著產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定、操作簡便、運行費用低、綠色環(huán)保無污染、維護方便等優(yōu)點,能滿足客戶的用水需求。
電子晶圓超純水特點
超純水傳統(tǒng)的制備工藝通常是采用離子交換樹脂進行制取,但采用離子交換樹脂通常需要經(jīng)常性的進行樹脂再生,即耗費物力又浪費人工,我們公司經(jīng)過多年實踐,同時結(jié)合新的膜分離技術(shù),采用反滲透加離子交換系統(tǒng)(或EDI)相結(jié)合研發(fā)的各行業(yè)用超純水設(shè)備,運行可靠。與新工藝相比具有造價低,系統(tǒng)穩(wěn)定等優(yōu)點。
電子晶圓超純水應(yīng)用范圍
1、液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面需用純水清洗和用純水配液。
2、晶體管生產(chǎn)中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制。
3、集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片。
4、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路。