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　　超純水設備結構緊湊、管理分布合理、簡單，使用一臺一體化智能系統(tǒng)。工藝流程為：

　　原水→預處理→雙級反滲透→脫氣系統(tǒng)→EDI系統(tǒng)→脫氣系統(tǒng)→核子級混床→終端超濾→用水點

　　1、預處理系統(tǒng)包括原水箱、原水泵、殺菌劑、石英砂過濾器、活性炭過濾器、換熱器、阻垢劑系統(tǒng)，可去除原水中的大顆粒物質、微生物、有機物、余氯、異味等。

　　2、雙級反滲透包括保安過濾器、高壓泵RO、反滲透系統(tǒng)。利用反向滲透原理，主要除去水中溶解鹽類、有機物、膠體、大分子物質等，降低水質的離子含量。

　　3、EDI系統(tǒng)的作用就是通過除去電解質(包括弱電解質)的過程，將水的電阻率從0.05～1.0MΩ·cm提高到5～16MΩ·cm。

　　4、脫氣系統(tǒng)：是控制液體脫氣、供氣的中空纖維膜組件。具有致密表皮層的中空纖維不透過液體，只透過氣體，適合用于液體的脫氣、供氣。

　　5、拋光混床等裝置：無化學析出的核子級樹脂，去除純水中殘余的微量帶電離子及弱電解質，使水質達到18MΩ·cm以上。