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GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀

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品       牌

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更新時(shí)間：2023-01-11 10:04:25瀏覽次數(shù)：310次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述：GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀是依據(jù)二極（DC）直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的較簡(jiǎn)單、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。本機(jī)特別之處是在一個(gè)真空室內(nèi)安裝了三個(gè)靶，旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)可依次在同一樣品上涂覆三種材料。因此，適用于實(shí)驗(yàn)室各種復(fù)合膜樣品的制備，以及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。

詳細(xì)介紹

功能特點(diǎn)
  • 設(shè)有真空表、濺射電流表，可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。
  • 通過(guò)調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得the best
  • 鍍膜效果。
  • 鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì)，可保證長(zhǎng)期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。
  • 陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。
  • 根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
  • 已通過(guò)CE認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)
安裝條件本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水不需要
電AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）
工作臺(tái)尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上
通風(fēng)裝置不需要
靶Ø45mm
真空室Ø160mm×120mm
MAX真空度≤4×10-2mbar
靶位3個(gè)
大電流50mA
可設(shè)定長(zhǎng)時(shí)間900s
微型真空氣閥連接Ø3mm軟管
MAX電壓1600V DC
機(jī)械泵2L/s
可選配件金、銦、銀、鉑等各種靶材
標(biāo)準(zhǔn)配件1金靶材1個(gè)
2銀靶材1個(gè)
3鋁靶材1個(gè)
4進(jìn)氣針閥1個(gè)
5保險(xiǎn)絲2個(gè)


關(guān)鍵詞：減壓閥 工作臺(tái)

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