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TKF SS-A 系列不銹鋼氣體過濾器

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更新時間：2024-08-29 07:48:44瀏覽次數：157次

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上海進申工貿有限公司

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產品簡介

超高純度直列式氣體過濾器,均為316L不銹鋼結構,高溫和動態(tài)壓力應用,尺寸緊湊、端接可變產品特點■15至300SLPM的寬流速范圍■能地兼容大多數高純度半導體工藝氣體■3納米顆粒過濾能力可以以最小的壓降保持高流動效率■5Ra電拋光表面可防止內部污染■去離子水清洗后用熱氮氣烘烤

詳細介紹

超高純度直列式氣體過濾器,均為 316L 不銹鋼結構,高溫和動態(tài)壓力應用,尺寸緊湊、端接可變

產品特點
■15 至 300 SLPM 的寬流速范圍
■能地兼容大多數高純度半導體工藝氣體
■3 納米顆粒過濾能力可以以最小的壓降保持高流動效率
■5Ra 電拋光表面可防止內部污染
■去離子水清洗后用熱氮氣烘烤，以滿足半導體工藝標準
■100 等級制造、清潔和包裝環(huán)境
■99% 通過氦氣泄漏測試